国家有色金属及电子材料分析测试中心
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太阳能级多晶硅的纯度一般在5N~7N，其中杂质元素的含量大多在ppb级
或者亚ppb级。杂质元素的含量（尤其是B和P的含量），对于太阳能级多
晶硅的寿命和光电转换率有着关键的影响，因此准确地评价太阳能级多晶
硅的纯度有重要意义。
辉光放电质谱（GDMS）和二次离子质谱（SIMS）,是目前国际上检测太阳
能级多晶硅纯度最有效的两种手段。两种方法都是直接取样技术，不需要
改变原料的形态。GDMS法进行元素搜索分析，具备高的分辨率和灵敏度、
极低的检测限、良好的数据重现性，能一次分析73种杂质元素含量，足以
满足5N、6N太阳能级硅材料分析的要求；SIMS法针对特定元素进行分
析，对所有的元素都具有最好的探测极限，对于太阳能级多晶硅中掺杂元
素B、P的测量，SIMS是最好的选择。SIMS同样可以提供气体元素最好的
探测极限和精度，如：碳、氧、氮、和氢等。
国家有色金属及电子材料分析测试中心采用国际一流的辉光放电质谱仪和
二次离子质谱仪，能够对您生产的多晶硅产品的纯度进行科学准确的评
价。采用辉放电质谱法，进行全元素分析，一次为您提供70余种杂质元素
的含量；采用二次离子质谱法，准确检测多晶硅中关键杂质B、P的含量。
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